乾式螺杆真空泵浦

为乾式螺旋式设计,由于不使用真空油,为高度气密之构造,可创造出洁淨真空环境,也可安心使用于含有特殊气体或有水气之气体的环境。

而搭载高速排气助力泵(MPA型)的真空泵组合机型,其产品的多样化及充满弹性的设计理念,可为顾客提供最合适的商品需求。

SPA系列/标准型真空泵

腔体内无需润滑,因而无油气回漏汙染的问题。加上转子表面使用特殊材质的镀层,因此可适用于各类严苛製程。

SPB系列/次世代真空泵

亚台专利螺旋线型,搭配变导程设计,排气温度较低噪音较小,更有高达30%的省电节能效果。

MPA系列/助力型真空泵

搭载Roots助力泵,提升抽气速率,缩短达到极限真空度的时间。

UPB系列/次世代助力型真空泵

採用同部磁阻电动机,经由亚台研發的控制器,控制调整泵,在各转速下运转效率高(IE4效率基准),最高可提升40%抽气速率。