乾式螺桿真空泵浦

為乾式螺旋式設計,由於不使用真空油,為高度氣密之構造,可創造出潔淨真空環境,也可安心使用於含有特殊氣體或有水氣之氣體的環境。

而搭載高速排氣助力泵(MPA型)的真空泵組合機型,其產品的多樣化及充滿彈性的設計理念,可為顧客提供最合適的商品需求。

SPA系列/標準型真空泵

腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。加上轉子表面使用特殊材質的鍍層,因此可適用於各類嚴苛製程。

SPB系列/次世代真空泵

亞台專利螺旋線型,搭配變導程設計,排氣溫度較低噪音較小,更有高達30%的省電節能效果。

MPA系列/助力型真空泵

搭載Roots助力泵,提升抽氣速率,縮短達到極限真空度的時間。

UPB系列/次世代助力型真空泵

採用同部磁阻電動機,經由亞台研發的控制器,控制調整泵,在各轉速下運轉效率高(IE4效率基準),最高可提升40%抽氣速率。