产品特色
- 洁淨真空: 乾式运转无密封液体，确保无汙染的真空环境。
- 机体零件少: 泵浦结构设计单纯，零件较其它型式泵浦少，维修容易。
- 耐腐蚀镀层: 所有会接触到抽取气体的部分，皆有聚四氟乙烯镀层，可抽取腐蚀性气体。
- 密封马达设计: 密封水冷马达设计，马达无传动轴伸出，确保完全密封无洩漏的可能發生。
- 排气路径短: 螺旋转子设计，相较其它型式泵浦，排气路径最短，减少粉尘沉积的机会。
- 冷却水套设计: 机体及马达皆有冷却水套设计，泵浦运转温度稳定，可靠度高。
- 肃清气体设计: 排气侧密封组件可用肃清气体清洁，提高使用寿命。
- 研磨轮旋齿轮: 同步螺旋齿轮齿面为JIS1级研磨，运转噪音低。
- 转子专利线型: 螺旋转子的设计，为本公司所开發的螺旋专利线型，密封效果良好。
