產品特色
- 潔淨真空: 乾式運轉無密封液體，確保無汙染的真空環境
- 機體零件少: 泵浦結構設計單純，零件較其它型式泵浦少，維修容易
- 耐腐蝕鍍層: 所有會接觸到抽取氣體的部分，皆有聚四氟乙烯鍍層，可抽取腐蝕性氣體
- 密封馬達設計: 密封水冷馬達設計，馬達無傳動軸伸出，確保完全密封無洩漏的可能發生
- 排氣路徑短: 螺旋轉子設計，相較其它型式泵浦，排氣路徑最短，減少粉塵沉積的機會
- 冷卻水套設計: 機體及馬達皆有冷卻水套設計，泵浦運轉溫度穩定，可靠度高
- 肅清氣體設計: 排氣側密封組件可用肅清氣體清潔，提高使用壽命
- 研磨輪旋齒輪: 同步螺旋齒輪齒面為JIS1級研磨，運轉噪音低
- 轉子專利線型: 螺旋轉子的設計，為本公司所開發的螺旋專利線型，密封效果良好
- 高效率節能的變導程轉子設計
